GB/T 26307-2010 银靶
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基本信息
| 标准名称： | 银靶 |
| 英文名称： | Silver target |
| 中标分类： | 冶金 >> 有色金属及其合金产品 >> 贵金属及其合金 |
| ICS分类： | 冶金 >> 有色金属 >> 其他有色金属及其合金 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-01-14 |
| 实施日期： | 2011-11-01 |
| 首发日期： | 2011-01-14 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 归口单位： | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 起草单位： | 北京有研亿金新材料股份有限公司 |
| 起草人： | 闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-11-01 |
| 页数： | 12页 |
适用范围
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
前言
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目录
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引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T4135 银
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T11067 银化学分析方法
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
所属分类： 冶金 有色金属及其合金产品 贵金属及其合金 冶金 有色金属 其他有色金属及其合金
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